氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同，氮化硅，生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时，能通过调节沉积参数来减少张力。
先利用溶胶凝胶法制备出二氧化硅，然后同时利用碳热还原法和氮化对其中包含特细碳粒子的硅胶进行处理后得到氮化硅纳米线。硅胶中的特细碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解产生的。合成过程中涉及的反应可能是:
氮化硅陶资材料在电子、军事和核工业方面也有广泛应用。
1、氮化硅陶瓷粉末的物理化性能及产品的技术指标
氮化硅陶瓷是一种白灰色粉末，氮化硅塞棒，分子式为:SI3N4 ;
分子重量:140.3 ，氮化硅定量勺， 密度3.2g/cm2
其化学成分:N>38-39;0<1-1.5;C<0.1;Fe<0.2。
氮化硅陶资材料在电子、军事和核工业方面也有广泛应用。
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分子重量:140.3 ， 密度3.2g/cm2
其化学成分:N>38-39;0<1-1.5;C<0.1;Fe<0.2。
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