压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件，电子陶瓷粉，在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展。 气体流量传感器产品特点:
1)响应速度快
2)低功耗、低压损
3)零点稳定度高
4)传感器灵敏度高，有极小的始动流量
5)全量程高稳定性和优良的重复性
6）贴壁式安装，无直管段要求，易于安装与使用
7）在单个芯片上实现了多传感器集成，电子陶瓷加工，使其量程比达到了100:1甚至更高
8）传感器芯片采用热量，电子陶瓷，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量
9)输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据RS232）或由上位机查询输出数据（RS232/I C），也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
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