气体流量传感器的特点1)对流过传感器的空气、氧气或其他的气体应有灵敏和快速的反应。
2)在很小的流量下有较高的准确性。
3)同时具有在大的流量下很好的重复性和很低的滞后性。
压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行器件，在精密光学、微型机械、微电子技术、计算机应用等高新技术领域获得广泛应用[lj。这些应用领域的发展要求压电陶瓷器件向体积小、驱动电压低、位移量大、能集成化的方向发展
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气体流量传感器的特点1)对流过传感器的空气、氧气或其他的气体应有灵敏和快速的反应。2)在很小的流量下有较高的准确性。3)同时具有在大的流量下很好的重复性和很低的滞后性。 压电陶瓷微位移器是利用逆压电效应制作的新型的固态执行...
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