C=ε×S／d
C—电容量（F）
ε—介质的介电系数（F／m）
S—电极面积（m2）
d—介质厚度（m）。
如今，气体流量传感器种类比较多，有节流式、容积式、涡街式、电磁式、热式、超声波式等若干种。多数是采集流体的温度、压力等信号，再换算成流量。但由于气体流动状态不稳定，使气体流量传感器的流量测量准确性受到影响。而由美国的科学家发明的插入式气体流量传感器，为流量的测量带来了一场革命，实现了直接测量流体质量流量的目的。随着科学技术的不断发展， 气体流量传感器变得体积小，低成本，稳定性好，功耗低，可被批量制造。
