氮化硅陶资材料在电子、军事和核工业方面也有广泛应用。
1、氮化硅陶瓷粉末的物理化性能及产品的技术指标
氮化硅陶瓷是一种白灰色粉末，分子式为:SI3N4 ;
分子重量:140.3 ， 密度3.2g/cm2
其化学成分:N>38-39;0<1-1.5;C<0.1;Fe<0.2。
氮化硅陶资材料在电子、军事和核工业方面也有广泛应用。
1、氮化硅陶瓷粉末的物理化性能及产品的技术指标
氮化硅陶瓷是一种白灰色粉末，分子式为:SI3N4 ;
分子重量:140.3 ，氮化硅， 密度3.2g/cm2
其化学成分:N>38-39;0<1-1.5;C<0.1;Fe<0.2。
由于该泵采用热膨胀系数很小的Si3N4 陶瓷转子和精密的空气轴承，氮化硅叶轮，从而无需润滑和冷却介质就能正常运转。如果将这种泵与超真空泵如涡轮———分子泵结合起来，就能组成适合于核聚变反应堆或半导体处理设备使用的真空系统。由于该泵采用热膨胀系数很小的Si3N4 陶瓷转子和精密的空气轴承，从而无需润滑和冷却介质就能正常运转。如果将这种泵与超真空泵如涡轮———分子泵结合起来，就能组成适合于核聚变反应堆或半导体处理设备使用的真空系统。
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