氮化硅的晶胞参数与单质硅不同。因此根据沉积方法的不同,生成的氮化硅薄膜会有产生张力或应力。特别是当使用等离子体增强化学气相沉积技术时,能通过调节沉积参数来减少张力。
先利用溶胶凝胶法制备出二氧化硅,然后同时利用碳热还原法和氮化对其中包含特细碳粒子的硅胶进行处理后得到氮化硅纳米线。硅胶中的特细碳粒子是由葡萄糖在1200-1350℃分解产生的。合成过程中涉及的反应可能是:
氮化硅坩埚|三齐新材料公司(在线咨询)|氮化硅由淄博三齐新材料科技有限公司提供。“:纳米材料制造,纳米陶瓷制品,氮化硅制品,氧化铝制品,氧化锆”就选淄博三齐新材料科技有限公司(www.zbsanqi.com),公司位于:山东省淄博市博山区中心路,多年来,三齐新材料公司坚持为客户提供优质的服务,联系人:李经理。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。三齐新材料公司期待成为您的长期合作伙伴!