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硅粉中含有许多杂质，如Fe，Ca，Aì，Ti等。Fe被认为是反应过程中的催化剂。它能促进硅的扩散，氮化硅，但同时，也将造成气孔等缺陷。Fe作为添加剂的主要作用:在反应过程中可作催化剂，促使制品表面生成SiO2氧化膜;形成铁硅熔系，氮化硅火嘴，氮溶解在液态FeSi2中，促进β-Si3N4的生成。但铁颗粒过大或含量过高，氮化硅托板，制品中也会出现气孔等缺陷，氮化硅，降低性能。一般铁的加入量为0~5%。Al，Ca，Ti等杂质，易与硅形成低共熔物。适当的添加量，可以促进烧结，提高制品的性能。
亨利·爱丁·圣克莱尔·德维尔和弗里德里希·维勒在1857年报道了氮化硅的合成方法。在他们报道的合成方法中，为减少氧气的渗入而把另一个盛有硅的坩埚埋于一个装满碳的坩埚中加热。他们报道了一种他们称之为硅的氮化物的产物，但他们未能弄清它的化学成分。1879年Paul Schuetzenberger通过将硅与衬料(一种可作为坩埚衬里的糊状物，
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